Wie heißt die Degradation, bei der der Betrag der Schwellenspannung allmählich zunimmt, wenn an einem pMOS-Transistor dauerhaft negative Gate-Spannung und hohe Temperatur anliegen?

Antwort: A. NBTI

NBTI (Negative Bias Temperature Instability) ist eine Degradation, bei der durch negative Gate-Vorspannung und hohe Temperatur an einem pMOS die Si-H-Bindungen an der Si/SiO2-Grenzfläche brechen, die Grenzflächenzustände zunehmen, sich auch im Isolierfilm positive Ladung ansammelt und der Betrag der Schwellenspannung steigt. Da die Schaltungsgeschwindigkeit über Jahre allmählich sinkt, wird beim Entwurf eine Reserve für die Degradation vorgesehen. Typisch ist auch, dass sich nach Wegnahme der Belastung ein Teil erholt.