Leistungshalbleiter
Welches Merkmal des Superjunction-(SJ-)MOSFET ist richtig?
- AIn der Driftschicht sind p- und n-Säulen abwechselnd angeordnet, wodurch bei gleicher Sperrspannung der Durchlasswiderstand sinkt
- BEr hat zwei Gates
- CDas Gate-Oxid ist sehr dick, um die Sperrspannung zu erhöhen
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Antwort: A. In der Driftschicht sind p- und n-Säulen abwechselnd angeordnet, wodurch bei gleicher Sperrspannung der Durchlasswiderstand sinkt
Bei der Superjunction-Struktur sind in der Driftschicht p- und n-Säulen abwechselnd angeordnet. Im Sperrzustand werden sie auch lateral verarmt, sodass die gesamten Säulen zur Verarmungszone werden und selbst hoch dotierte n-Säulen eine hohe Sperrspannung halten; im Einschaltzustand fließt der Strom durch die hoch dotierten n-Säulen. So lässt sich der Durchlasswiderstand von 600-V-Si-MOSFETs auf einen Bruchteil der herkömmlichen Siliziumgrenze senken, und sie werden breit in Netzteilen und PFC-Schaltungen eingesetzt. Der Schlüssel der Fertigung ist das präzise Ausbalancieren der p- und n-Ladung.