Was ist Perfluorcarbone (perfluorocarbons)?

Auch PFC genannt. Fluorierte Gase wie CF4 und C2F6, die beim Ätzen und bei der Kammerreinigung verwendet werden. Ihr Treibhauseffekt ist sehr groß.

Japanische Bezeichnung: パーフルオロカーボン

Fachgebiet: Umwelt, Gesundheit und Sicherheit

Verwandte Begriffe

Abgasreinigungsanlage (abatement system) Gefährdungsbeurteilung (Risikobewertung) GHS Lockout/Tagout (LOTO) Lokale Absaugung RoHS-Richtlinie (RoHS Directive) Sauerstoffmangel SDB (Sicherheitsdatenblatt, SDS) Untere Explosionsgrenze (UEG)

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