Wie heißt das Phänomen, bei dem die Kristallkörner einer galvanisch gebildeten Cu-Schicht schon bei Lagerung bei Raumtemperatur mit der Zeit wachsen und der spezifische Widerstand sinkt?

Antwort: C. Self-Annealing (Selbstglühen)

Cu-Schichten direkt nach der Galvanik haben durch eingebaute Additive usw. kleine, instabile Kristallkörner von einigen zehn nm; sie rekristallisieren schon bei Raumtemperatur innerhalb von Stunden bis Tagen, die Körner wachsen auf etwa 1 µm, und der spezifische Widerstand sinkt um etwa 20 %. Das ist das Self-Annealing. Da sich Eigenschaften und Polierrate mit der Lagerzeit ändern, wird nach der Galvanik üblicherweise bei etwa 100 bis 400 °C getempert, um das Kornwachstum abzuschließen, bevor zum CMP übergegangen wird.