MEMS와 센서

스마트폰 등의 고주파 필터에 사용되는 BAW 필터가 이용하는 현상은?

  1. A홀 효과
  2. B압전 박막의 기계적 공진
  3. C제베크 효과
정답과 해설 보기

정답: B. 압전 박막의 기계적 공진

BAW(벌크 탄성파) 필터는 질화알루미늄(ScAlN도 포함) 등 두께 1 µm 안팎의 압전 박막을 전극으로 끼운 공진기를 사용합니다. 막이 두께 방향으로 진동하며 막 두께로 정해지는 특정 주파수에서 공진하는 성질을 이용하여 필요한 주파수 대역의 신호만 통과시킵니다. 1.5~6 GHz 정도의 높은 주파수에서 손실이 작아, 많은 주파수 대역을 사용하는 5G 스마트폰에는 수십 개나 사용됩니다.

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