在半導體廠的能源消耗中佔大宗比例的設備，下列何者正確？

正確答案：B. 除了製造設備之外，還有潔淨室空調、超純水製造、排氣處理等公用設施設備

在半導體廠中，除了製造設備本身之外，使大量空氣循環的潔淨室空調、超純水的製造、排氣與廢水的處理，以及冷卻水或真空泵浦等公用設施設備，也耗用大量電力。大型工廠的耗電量有時可與一座地方城市相當，這些設備的效率化是節約能源與減少溫室氣體的重要課題。照明或辦公室電腦所佔的比例很小。