신뢰성
얇은 게이트 산화막에서 절연이 완전히 상실되기 전에 누설 전류가 단계적으로 늘어나는 가벼운 파괴를 무엇이라 부르는가?
- A하드 브레이크다운
- B일렉트로마이그레이션
- C소프트 브레이크다운
정답과 해설 보기
정답: C. 소프트 브레이크다운
두께 수 nm 이하의 얇은 게이트 산화막에서는 스트레스를 계속 가하면, 먼저 결함이 이어진 가느다란 도전 경로가 생겨 누설 전류가 단계적으로 늘어나는 소프트 브레이크다운이 일어나는 경우가 있습니다. 그 뒤 경로가 열로 넓어져 절연이 완전히 상실되는 하드 브레이크다운으로 진행하기도 합니다. 회로에 따라서는 소프트 브레이크다운 후에도 동작을 계속할 수 있어, 수명의 판정 기준이 논의의 대상이 됩니다.