環境安全
半導体製造装置の環境・健康・安全に関する設計の指針として、業界で広く用いられているSEMIの規格はどれか。
- ASEMI E10
- BSEMI M1
- CSEMI S2
答えと解説を見る
正解：C. SEMI S2
SEMI S2は、半導体製造装置の環境・健康・安全(EHS)に関するガイドラインで、電気・化学・放射線・機械的な危険への対策、非常停止、インターロック、排気などの要求事項を定めています。多くの装置メーカーがこれに適合することを確認しており、工場側も装置の購入条件にすることが一般的です。
- A. SEMI E10は装置の稼働率などの信頼性の指標に関する規格です。
- B. SEMI M1はシリコンウエハの仕様に関する規格です。
- C. 正しい。装置のEHSに関するガイドラインです。