환경·보건·안전
반도체 제조 장치의 환경·건강·안전에 관한 설계 지침으로 업계에서 널리 사용되는 SEMI 규격은?
- ASEMI E10
- BSEMI M1
- CSEMI S2
정답과 해설 보기
정답: C. SEMI S2
SEMI S2는 반도체 제조 장치의 환경·건강·안전(EHS)에 관한 가이드라인으로, 전기·화학·방사선·기계적 위험에 대한 대책, 비상 정지, 인터록, 배기, 지진 대비 등의 요구 사항을 정하고 있습니다. 많은 장치 제조사가 제3자 평가로 이에 대한 적합을 확인하고 있으며, 공장 측도 장치 구입 조건으로 삼는 것이 일반적입니다. E10은 가동률 지표, M1은 웨이퍼 사양 규격입니다.
- A. SEMI E10은 장치의 가동률 등 신뢰성 지표에 관한 규격입니다.
- B. SEMI M1은 실리콘 웨이퍼 사양에 관한 규격입니다.
- C. 올바릅니다. 장치의 EHS에 관한 가이드라인입니다.