環境安全
作為半導體製造設備之環境、健康與安全設計指引，在業界廣泛使用的SEMI標準為下列何者？
- ASEMI E10
- BSEMI M1
- CSEMI S2
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正確答案：C. SEMI S2
SEMI S2是關於半導體製造設備之環境、健康與安全（EHS）的指引，規定了電氣、化學、輻射、機械危害的對策，以及緊急停止、連鎖（interlock）、排氣、地震因應等要求事項。許多設備製造商以第三方評估來確認符合此標準，工廠端也普遍將其列為設備採購條件。E10是稼動率的指標，M1則是晶圓規格的標準。
- A. SEMI E10是關於設備稼動率等可靠度指標的標準。
- B. SEMI M1是關於矽晶圓規格的標準。
- C. 正確。是設備EHS的指引。