エピタキシャル成長やアニールに使われる水素ガスの危険性として正しいものはどれか。

正解：A. 空気中で燃焼・爆発する濃度の範囲が約4〜75%と非常に広く、着火に必要なエネルギーも小さい

水素の空気中での爆発範囲は約4〜75 vol%と非常に広く、最小着火エネルギーも小さいため、わずかな静電気でも着火するおそれがあります。空気よりずっと軽く、天井付近にたまりやすいので、天井付近での検知や換気、配管の漏れの管理が重要です。

• A. 正しい。爆発範囲が広く、着火しやすいガスです。
• B. 水素は最も軽い気体で、上にたまります。
• C. 水素は水に溶けて酸になることはありません。