環境安全
CF4などの非常に安定で分解しにくいPFCを、装置の排ガスから取り除くために用いられる除害方式として適切なものはどれか。
- A水で洗うだけの湿式スクラバー
- B活性炭への吸着だけ
- C燃焼式やプラズマ式など、高温で分解する方式
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正解:C. 燃焼式やプラズマ式など、高温で分解する方式
CF4などのPFCは化学的に非常に安定で、水にもほとんど溶けないため、湿式スクラバーや一般的な吸着ではほとんど除去できません。燃焼式や電気ヒーター式、プラズマ式などで1000 ℃前後以上の高温にして分解し、生成したフッ化水素などを後段の湿式スクラバーで取り除きます。
- A. PFCは水にほとんど溶けないため、水洗いだけでは除去できません。
- B. 安定なPFCは吸着だけでは十分に除去できません。
- C. 正しい。高温で分解し、生成物を後段で処理します。