DRAM

DRAMのセル面積を表すときに使われる「6F²」のFの意味として正しいものはどれか。

  1. Aファラッド(容量の単位)
  2. Bフィンの本数
  3. C最小加工寸法(フィーチャーサイズ)
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正解：C. 最小加工寸法(フィーチャーサイズ)

Fは最小加工寸法を表し、セル面積を「Fの2乗の何倍か」で表します。6F²は、最小加工寸法の2乗の6倍の面積という意味です。DRAMは8F²から6F²へとセル構造が改良されてきており、4F²の実現をめざした研究も進められています。

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