Vermogenshalfgeleiders
Wat is een bekend probleem van SiC-MOSFET’s?
- ADe doorslagspanning is lager dan die van silicium
- BDe bandkloof is kleiner dan die van silicium
- CHet grensvlak tussen SiC en gate-oxide heeft veel defecten, waardoor de kanaalmobiliteit gemakkelijk laag wordt
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Het grensvlak tussen SiC en gate-oxide heeft veel defecten, waardoor de kanaalmobiliteit gemakkelijk laag wordt
Ook bij SiC kan SiO2 door thermische oxidatie worden gevormd, maar aan het grensvlak blijven veel defecten achter, zoals koolstofgerelateerde defecten, zodat de kanaalmobiliteit aanzienlijk lager is dan de mobiliteit binnen het SiC-kristal (ca. 1000 cm²/V·s) en gemakkelijk slechts enkele tientallen cm²/V·s bedraagt. Verbetering is bereikt met onder meer nitridering in stikstofmonoxide (NO). Ook schommelingen in de drempelspanning en de langetermijnbetrouwbaarheid van de gate-oxide zijn punten die zorgvuldiger moeten worden beoordeeld dan bij Si.