Siliciumfotonica
Wat is de belangrijkste reden waarom siliciumfotonica geschikt wordt geacht voor massaproductie in halfgeleiderfabrieken?
- ADezelfde siliciummaterialen als bij CMOS en apparatuur en processen zoals wafers met grote diameter, lithografie en etsen kunnen worden gebruikt
- BDe afmetingen van golfgeleiders liggen net als bij de modernste logica rond enkele nm, zodat de nieuwste EUV-belichting direct kan worden benut
- COok verbindingshalfgeleiders zoals InP kunnen precies zoals silicium vrij in CMOS-fabrieken worden verwerkt
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Dezelfde siliciummaterialen als bij CMOS en apparatuur en processen zoals wafers met grote diameter, lithografie en etsen kunnen worden gebruikt
In siliciumfotonica worden op SOI-wafers golfgeleiders gemaakt met lithografie en droog etsen, pn-juncties van modulatoren met ionenimplantatie en Ge-fotodetectoren met selectieve epitaxiale groei, en worden elektroden met metalen bedrading verbonden. Dit zijn allemaal materialen en processen die in CMOS-fabrieken gevestigd zijn, zodat op wafers van 200 mm of 300 mm met hoge nauwkeurigheid en reproduceerbaarheid in massa kan worden geproduceerd. Golfgeleiders zijn enkele honderden nm breed, zodat de miniaturisering van de modernste logica niet nodig is en DUV-belichting volstaat. Verbindingshalfgeleiders zoals InP brengen daarentegen een risico op contaminatie mee en worden doorgaans gescheiden van CMOS-fabrieken verwerkt.