Verbindingshalfgeleiders
Hoe wordt silicium-germanium (SiGe) ingedeeld?
- AIII-V-verbindingshalfgeleider
- BGemengde-kristalhalfgeleider (legering) van groep-IV-elementen
- CII-VI-verbindingshalfgeleider
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Gemengde-kristalhalfgeleider (legering) van groep-IV-elementen
SiGe is een gemengde-kristalhalfgeleider (legering) waarin silicium en germanium uit dezelfde groep IV in elke verhouding zijn gemengd. Beide hebben de diamantstructuur en mengen over de gehele samenstellingsrange; naarmate meer Ge wordt toegevoegd, worden de bandgap kleiner en de roosterconstante groter. SiGe sluit goed aan op siliciumprocessen en wordt gebruikt voor de basis van HBT's, voor lagen die in source en drain van pMOS drukspanning aanbrengen en voor opofferlagen bij de fabricage van GAA-transistors.