화합물 반도체
실리콘게르마늄(SiGe)의 분류로 올바른 것은?
- AIII-V족 화합물 반도체
- BIV족 원소끼리의 혼정(합금) 반도체
- CII-VI족 화합물 반도체
정답과 해설 보기
정답: B. IV족 원소끼리의 혼정(합금) 반도체
SiGe는 같은 IV족인 실리콘과 게르마늄을 임의의 비율로 섞은 혼정(합금) 반도체입니다. 둘 다 다이아몬드 구조이며 전 조성에서 섞이고, Ge를 늘리면 밴드갭이 작아지고 격자 상수가 커집니다. 실리콘 공정과 궁합이 좋아 HBT의 베이스, pMOS의 소스·드레인에 압축 변형을 주는 층, GAA 트랜지스터를 만들 때의 희생층 등에 사용됩니다.
- A. III-V족은 III족과 V족 원소로 이루어진 화합물입니다.
- B. 맞습니다. IV족끼리의 혼정입니다.
- C. II-VI족은 II족과 VI족 원소로 이루어진 화합물입니다.