배선 공정

다층 배선에서 상층 배선일수록 굵고 두껍게 만드는 주된 이유는?

  1. A상층은 빛을 통과시켜야 하기 때문에
  2. B상층일수록 미세 가공이 어렵기 때문에
  3. C먼 거리를 잇는 전원 배선과 신호 배선의 저항을 낮추기 위해
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정답: C. 먼 거리를 잇는 전원 배선과 신호 배선의 저항을 낮추기 위해

하층 배선은 가까운 트랜지스터끼리를 고밀도로 잇기 위해 최소 치수로 가늘게 만들고, 상층 배선은 칩 전체에 전원을 분배하거나 수 mm 떨어진 블록끼리 잇기 위해 폭도 두께도 몇 배~열 배 이상으로 합니다. 긴 배선의 저항을 낮추어 전압 강하와 신호 지연을 억제합니다. 최상층의 수 µm 두께 배선은 전원과 클록 분배에 사용되며, 층의 역할 분담이 배선 설계의 기본입니다.

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