배선 공정
다층 배선에서 상층 배선일수록 굵고 두껍게 만드는 주된 이유는?
- A상층은 빛을 통과시켜야 하기 때문에
- B상층일수록 미세 가공이 어렵기 때문에
- C먼 거리를 잇는 전원 배선과 신호 배선의 저항을 낮추기 위해
정답과 해설 보기
정답: C. 먼 거리를 잇는 전원 배선과 신호 배선의 저항을 낮추기 위해
하층 배선은 가까운 트랜지스터끼리를 고밀도로 잇기 위해 최소 치수로 가늘게 만들고, 상층 배선은 칩 전체에 전원을 분배하거나 수 mm 떨어진 블록끼리 잇기 위해 폭도 두께도 몇 배~열 배 이상으로 합니다. 긴 배선의 저항을 낮추어 전압 강하와 신호 지연을 억제합니다. 최상층의 수 µm 두께 배선은 전원과 클록 분배에 사용되며, 층의 역할 분담이 배선 설계의 기본입니다.