배선 공정

배선 사이 절연막의 일부를 공동(에어 갭)으로 만드는 기술의 주된 목적은?

  1. A배선의 기계적 강도를 높이기 위해
  2. B배선 간 용량을 낮추기 위해(공기의 비유전율은 거의 1)
  3. C배선의 저항을 낮추기 위해
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정답: B. 배선 간 용량을 낮추기 위해(공기의 비유전율은 거의 1)

공기(진공)의 비유전율은 거의 1로 어떤 절연 재료보다 낮기 때문에, 배선 사이를 공동으로 만들면 배선 간 용량을 20~30% 정도 낮출 수 있습니다. 배선을 형성한 뒤 사이의 절연막을 제거하고 위에서 막는 방법이나, 성막으로 일부러 공동을 남기는 방법이 있습니다. 기계적 강도, 열이 잘 빠져나가지 않는 점, 위층의 비아가 공동으로 빠지는 문제 등이 있어서 특히 용량을 낮추고 싶은 조밀한 층에 한정하여 사용됩니다.

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