에피택셜 성장
고농도 기판 위에 저농도 에피층을 고온에서 성장시킬 때, 고체 속의 확산으로 기판의 불순물이 에피층 쪽으로 스며 나와 계면의 농도 변화가 완만해지는 현상을 무엇이라고 하는가?
- A일렉트로마이그레이션
- B스퍼터링
- C외방 확산(아웃디퓨전)
정답과 해설 보기
정답: C. 외방 확산(아웃디퓨전)
에피 성장이나 이후 열처리의 고온으로 인해 고농도 기판의 불순물이 고체 속을 확산하여 에피층에 들어가, 기판과 에피층 경계의 농도 변화가 완만해집니다. 이것이 외방 확산이며, 실효적인 저농도층의 두께가 줄어 파워 디바이스에서는 내압 저하로 이어집니다. 확산이 느린 비소나 안티몬을 기판에 사용하고 열 예산을 억제하여 막습니다. 기상을 통해 유입되는 오토도핑과는 구별됩니다.
- A. 일렉트로마이그레이션은 전류에 의해 배선의 금속 원자가 이동하는 현상입니다.
- B. 스퍼터링은 이온의 충돌로 원자를 튀어나오게 하는 성막법입니다.
- C. 맞습니다. 기판의 불순물이 고체 속을 확산하여 에피층에 들어가는 현상입니다.