Comment appelle-t-on, dans un oxyde de grille mince, le claquage léger où le courant de fuite augmente par paliers avant la perte totale d'isolation ?

Réponse : C. Claquage doux (soft breakdown)

Dans les oxydes de grille minces de quelques nm ou moins, une contrainte prolongée peut d'abord créer un fin chemin conducteur de défauts reliés, et le courant de fuite augmente par paliers : c'est le claquage doux. Le chemin peut ensuite s'élargir thermiquement et évoluer vers le claquage franc, avec perte totale d'isolation. Certains circuits pouvant continuer de fonctionner après un claquage doux, le critère de fin de vie fait débat.