Betrouwbaarheid
Hoe heet de lichte doorslag bij een dunne gate-oxide waarbij de lekstroom stapsgewijs toeneemt voordat de isolatie volledig verloren gaat?
- AHard breakdown
- BElektromigratie
- CSoft breakdown
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Soft breakdown
Bij een dunne gate-oxide van enkele nm of minder kan bij voortdurende belasting eerst soft breakdown optreden, waarbij een dun geleidend pad van aaneengesloten defecten ontstaat en de lekstroom stapsgewijs toeneemt. Daarna kan het pad door warmte uitbreiden en overgaan in hard breakdown, waarbij de isolatie volledig verloren gaat. Afhankelijk van de schakeling kan na soft breakdown worden doorgewerkt, dus het criterium voor het vaststellen van de levensduur wordt besproken.