Quelle norme SEMI, largement utilisée dans l'industrie, sert de ligne directrice de conception en matière d'environnement, de santé et de sécurité des équipements de fabrication de semi-conducteurs ?

Réponse : C. SEMI S2

SEMI S2 est la ligne directrice environnement, santé et sécurité (EHS) des équipements de fabrication de semi-conducteurs ; elle fixe des exigences relatives aux dangers électriques, chimiques, radiologiques et mécaniques, à l'arrêt d'urgence, aux verrouillages, à l'extraction, à la préparation aux séismes, etc. De nombreux fabricants d'équipements font vérifier leur conformité par un tiers, et les usines en font généralement une condition d'achat. E10 est un indicateur de disponibilité, et M1 une norme de spécification des plaquettes.