Umwelt und Sicherheit

Welche SEMI-Norm wird in der Industrie als Leitlinie für Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsaspekte beim Design von Halbleiterfertigungsanlagen breit verwendet?

  1. ASEMI E10
  2. BSEMI M1
  3. CSEMI S2
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Antwort: C. SEMI S2

SEMI S2 ist eine Richtlinie für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit (EHS) von Halbleiterfertigungsanlagen und legt Anforderungen fest, etwa zu Maßnahmen gegen elektrische, chemische, Strahlungs- und mechanische Gefahren, Not-Aus, Verriegelungen, Abluft und Erdbebenvorsorge. Viele Anlagenhersteller bestätigen die Konformität durch Bewertung Dritter, und es ist üblich, dass auch die Fabrikbetreiber sie zur Kaufbedingung machen. E10 ist ein Kennwert zur Anlagenverfügbarkeit, M1 eine Norm zu Wafer-Spezifikationen.

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