Nederlands
Menu

Milieu en veiligheid

Welke SEMI-norm wordt in de sector veel gebruikt als ontwerprichtlijn voor milieu, gezondheid en veiligheid van halfgeleiderproductieapparatuur?

  1. ASEMI E10
  2. BSEMI M1
  3. CSEMI S2
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. SEMI S2

SEMI S2 is een richtlijn voor milieu, gezondheid en veiligheid (EHS) van halfgeleiderproductieapparatuur en stelt eisen aan maatregelen tegen elektrische, chemische, stralings- en mechanische gevaren, noodstop, interlocks, afzuiging en voorzorg tegen aardbevingen. Veel apparatuurfabrikanten laten de naleving door een derde partij beoordelen, en het is gebruikelijk dat ook fabrieken dit als aankoopvoorwaarde stellen. E10 is een maat voor beschikbaarheid en M1 een norm voor waferspecificaties.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Milieu en veiligheid

  1. Waarom is het hooggeconcentreerde TMAH (tetramethylammoniumhydroxide), dat in ontwikkelaar wordt gebruikt, vooral gevaarlijk wanneer het op de huid komt?
  2. Wat is het veiligheidsvoordeel van een systeem waarbij giftige gassen zoals arsine en fosfine aan een adsorptiemateriaal worden geadsorbeerd en onder een druk lager dan atmosferisch in een vat worden opgeslagen en geleverd?
  3. Welke methode voor afgasbehandeling is geschikt om uiterst stabiele, moeilijk ontleedbare PFC's zoals CF4 uit het afgas van apparatuur te verwijderen?
  4. Welke grenswaarde wordt bij het beheer van blootstelling aan chemische stoffen, naast de gemiddelde waarde over 8 uur per dag, vastgesteld voor blootstelling gedurende een korte tijd, zoals 15 minuten?
  5. Welke uitspraak over het omgaan met fluorwaterstofzuur (HF) is juist?