Wie hoch ist die Ausbeute im Poisson-Modell Y = exp(−D × A) bei Defektdichte D = 0,1 Defekte/cm² und Chipfläche A = 1 cm² ungefähr?

Antwort: B. ca. 90 %

D × A = 0,1 × 1 = 0,1, also Y = exp(−0,1) ≈ 0,905, d. h. etwa 90 %. Bei kleinem D×A lässt sich Y ≈ 1−D×A nähern, und die mittlere Defektzahl entspricht unmittelbar dem Anteil fehlerhafter Chips. Bei gleicher Defektdichte und einer Chipfläche von 5 cm² sinkt die Ausbeute auf exp(−0,5) ≈ 61 %. Etwa 50 % ist der Wert bei D×A ≈ 0,7, etwa 99 % bei D×A ≈ 0,01.