Verdrahtungsprozess

Welche Kombination der Hauptanforderungen an LSI-Leitungsmaterialien ist richtig?

  1. ALeitet weder Strom noch Wärme
  2. BNiedriger Widerstand, Beständigkeit gegen strombedingte Degradation (Elektromigration) und leichte Bearbeitbarkeit
  3. CLässt Licht gut durch und ist weich
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Antwort: B. Niedriger Widerstand, Beständigkeit gegen strombedingte Degradation (Elektromigration) und leichte Bearbeitbarkeit

An Leitungsmaterialien werden folgende Anforderungen gestellt: niedriger Widerstand zur Verringerung von Signalverzögerung und Leistungsverlust, Zuverlässigkeit mit geringer Degradation auch bei großen Stromdichten im Bereich MA/cm², geringe Diffusion in Isolierschicht und Silizium, leichte Strukturierung und Füllung feiner Muster sowie Beständigkeit gegen Prozesstemperaturen. Aus der Abwägung dieser Anforderungen wechselte das Material von Al zu Cu und für extrem feine Bereiche weiter zu Co, Ru, Mo u. a.

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