半導體產業與市場
下列關於最先進之EUV曝光設備的說明,何者適當?
- A有許多企業以低價供應,容易取得
- B能夠供應的企業極為有限,是先進半導體製造的關鍵
- C未用於先進半導體的製造
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正確答案:B. 能夠供應的企業極為有限,是先進半導體製造的關鍵
EUV曝光設備結合了以雷射照射錫液滴所產生的電漿光源、反射率約70%的多層膜反射鏡、高真空技術等,是集大成的設備,量產用設備事實上僅由荷蘭的ASML一家公司供應。單台價格高達數百億日圓,非常昂貴,是先進邏輯與記憶體製造不可或缺的設備。其零組件也是集結自世界各地的專業企業,同時也是出口管制的對象。