환경·보건·안전
식각이나 장치 클리닝에 사용되는 PFC(퍼플루오로카본)류의 배출이 환경상 문제가 되는 주된 이유는?
- A수질 오염의 주된 원인 물질이기 때문에
- B산성비의 주된 원인 물질이기 때문에
- C지구온난화지수가 크고 대기 중 수명이 긴 온실가스이기 때문에
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정답: C. 지구온난화지수가 크고 대기 중 수명이 긴 온실가스이기 때문에
CF4나 C2F6 등의 PFC류는 CO2의 수천 배 이상에 이르는 지구온난화지수를 가지며, CF4의 대기 중 수명은 약 5만 년으로 매우 긴 온실가스입니다. 한 번 배출하면 사람의 시간 척도로는 사라지지 않으므로, 반도체 업계에서는 제해 장치에 의한 분해, 온난화지수가 작은 대체 가스로의 전환, 사용량 최적화 등으로 배출 저감에 힘쓰고 있습니다. 수질 오염이나 산성비의 주된 원인 물질은 아닙니다.