半導体工場のエネルギー消費で大きな割合を占める設備として正しいものはどれか。

正解：B. 製造装置に加え、クリーンルームの空調や超純水製造、排気処理などのユーティリティ設備

半導体工場では、製造装置そのものに加えて、大量の空気を循環させるクリーンルームの空調、超純水の製造、排気・排水の処理、冷却水などのユーティリティ設備が多くの電力を使います。これらの効率化は、工場の省エネルギーと温室効果ガス削減の重要なテーマです。