Halfgeleiderfysica
Welke waarde ligt het dichtst bij de relatieve permittiviteit van silicium?
- Aca. 11,7
- Bca. 80
- Cca. 3,9
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. ca. 11,7
De relatieve permittiviteit van silicium is ca. 11,7 en wordt gebruikt bij berekeningen van de breedte van de uitputtingslaag (W = √(2εV/qN)) en de junctiecapaciteit. Die van SiO2 is ca. 3,9, en de prestaties van gate-isolatoren worden vergeleken met de equivalente oxidedikte (EOT) met deze waarde als referentie. Met High-k-materialen zoals HfO2 (ca. 20 tot 25) kan de laag fysiek dikker worden gemaakt om de tunnelstroom te onderdrukken en toch dezelfde capaciteit als dun SiO2 worden verkregen. Tussen bedrading worden daarentegen Low-k-materialen met een lage permittiviteit gebruikt.