Halbleiterphysik
Welcher Wert kommt der relativen Permittivität von Silizium am nächsten?
- Aetwa 11,7
- Betwa 80
- Cetwa 3,9
Antwort und Erläuterung anzeigen
Antwort: A. etwa 11,7
Die relative Permittivität von Silizium beträgt etwa 11,7 und wird für die Berechnung der Breite der Verarmungszone (W = √(2εV/qN)) und der Sperrschichtkapazität verwendet. SiO2 hat etwa 3,9, und die Leistung von Gateisolatoren wird anhand der darauf bezogenen äquivalenten Oxiddicke (EOT) verglichen. Mit High-k-Materialien wie HfO2 (etwa 20 bis 25) lässt sich bei physikalisch dickerer Schicht der Tunnelstrom unterdrücken und dieselbe Kapazität wie bei dünnem SiO2 erzielen. Zwischen Leitbahnen werden umgekehrt Low-k-Materialien mit niedriger Permittivität verwendet.