반도체 물리
실리콘의 비유전율에 가장 가까운 값은?
- A약 11.7
- B약 80
- C약 3.9
정답과 해설 보기
정답: A. 약 11.7
실리콘의 비유전율은 약 11.7이며, 공핍층의 폭(W = √(2εV/qN))이나 접합 용량의 계산에 사용합니다. SiO2는 약 3.9이며, 게이트 절연막의 성능은 이 값을 기준으로 한 등가 산화막 두께(EOT)로 비교합니다. HfO2(약 20~25) 등 High-k 재료를 사용하면 물리적으로 두껍게 하여 터널 전류를 억제하면서도 얇은 SiO2와 같은 용량을 얻을 수 있습니다. 배선 사이에는 반대로 유전율이 낮은 Low-k 재료를 사용합니다.
- A. 올바릅니다. 실리콘의 비유전율은 약 11.7입니다.
- B. 약 80은 물의 비유전율입니다.
- C. 약 3.9는 이산화규소(SiO2)의 비유전율입니다.