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Physique des semi-conducteurs

Quelle valeur est la plus proche de la permittivité relative du silicium ?

  1. AEnviron 11,7
  2. BEnviron 80
  3. CEnviron 3,9
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Réponse : A. Environ 11,7

La permittivité relative du silicium vaut environ 11,7 ; elle sert au calcul de la largeur de la zone de déplétion (W = √(2εV/qN)) et de la capacité de jonction. Celle du SiO2 vaut environ 3,9, et les performances des isolants de grille se comparent par l'épaisseur d'oxyde équivalente (EOT) rapportée à cette valeur. Les matériaux High-k comme le HfO2 (environ 20 à 25) permettent d'obtenir la même capacité qu'un SiO2 mince avec une épaisseur physique plus grande, limitant le courant tunnel. Entre les interconnexions, on utilise au contraire des matériaux Low-k de faible permittivité.

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