Oxidatie en diffusie

Wat is de juiste reden dat oxidefilms op silicium afhankelijk van de dikte in verschillende kleuren zichtbaar zijn?

  1. ADe kleur van onzuiverheden in de oxidefilm
  2. BInterferentie van licht dat aan de voor- en achterzijde (het grensvlak met silicium) van de oxidefilm wordt gereflecteerd
  3. CDe oxidefilm zelf zendt licht uit
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Interferentie van licht dat aan de voor- en achterzijde (het grensvlak met silicium) van de oxidefilm wordt gereflecteerd

SiO2 zelf is transparant, maar het aan het filmoppervlak gereflecteerde licht en het aan het grensvlak met silicium gereflecteerde licht interfereren, zodat afhankelijk van de dikte bepaalde golflengten (kleuren) versterkt worden. Bij ongeveer 100 nm is dat bruin tot paars, bij ongeveer 300 nm blauw en bij ongeveer 500 nm groenachtig, en dezelfde kleuren herhalen zich periodiek met de dikte. Omdat de dikte ongeveer uit de kleur te zien is, werd vroeger een kleurentabel gebruikt. Voor nauwkeurige metingen worden ellipsometrie en spectroscopische interferentie gebruikt.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Oxidatie en diffusie

  1. Welk apparaat wordt in het algemeen gebruikt om veel wafers tegelijk thermisch te oxideren?
  2. Hoe heet bij thermische diffusie de stap waarmee onzuiverheden dieper worden gedreven na de stap waarbij een vaste hoeveelheid onzuiverheden aan het oppervlak wordt aangebracht?
  3. Welke afhankelijkheid van de oxidatiesnelheid van het kristalvlak bij thermische oxidatie van silicium is juist?
  4. Wat is het belangrijkste doel van het inbrengen van stikstof in gate-oxide om oxynitride (SiON) te maken?
  5. Wat is de juiste reden dat thermisch oxide kan worden gebruikt als masker voor onzuiverheden bij diffusie?