Oxidatie en diffusie
Wat is de juiste reden dat oxidefilms op silicium afhankelijk van de dikte in verschillende kleuren zichtbaar zijn?
- ADe kleur van onzuiverheden in de oxidefilm
- BInterferentie van licht dat aan de voor- en achterzijde (het grensvlak met silicium) van de oxidefilm wordt gereflecteerd
- CDe oxidefilm zelf zendt licht uit
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Interferentie van licht dat aan de voor- en achterzijde (het grensvlak met silicium) van de oxidefilm wordt gereflecteerd
SiO2 zelf is transparant, maar het aan het filmoppervlak gereflecteerde licht en het aan het grensvlak met silicium gereflecteerde licht interfereren, zodat afhankelijk van de dikte bepaalde golflengten (kleuren) versterkt worden. Bij ongeveer 100 nm is dat bruin tot paars, bij ongeveer 300 nm blauw en bij ongeveer 500 nm groenachtig, en dezelfde kleuren herhalen zich periodiek met de dikte. Omdat de dikte ongeveer uit de kleur te zien is, werd vroeger een kleurentabel gebruikt. Voor nauwkeurige metingen worden ellipsometrie en spectroscopische interferentie gebruikt.