Qu'est-ce que Perfluorocarbure ?
Aussi appelé PFC. Gaz fluorés tels que CF4 ou C2F6, utilisés pour la gravure et le nettoyage des chambres. Leur effet de serre est très important.
Nom japonais: パーフルオロカーボン
Domaine: Environnement, santé et sécurité
Aussi appelé PFC. Gaz fluorés tels que CF4 ou C2F6, utilisés pour la gravure et le nettoyage des chambres. Leur effet de serre est très important.
Nom japonais: パーフルオロカーボン
Domaine: Environnement, santé et sécurité
Consignation (LOTO) Directive RoHS Évaluation des risques FDS (fiche de données de sécurité) Limite inférieure d'explosivité (LIE/LEL) SGH (GHS) Sous-oxygénation (anoxie) Système d'aspiration localisée Système de traitement des effluents gazeux (abatement)