Installation qui capte et évacue, au plus près de la source, les gaz et brouillards émis par les équipements manipulant des produits chimiques. Elle évite que les opérateurs inhalent des substances nocives.
Nom japonais: 局所排気装置
Domaine: Environnement, santé et sécurité
Un système d'aspiration localisée (LEV) élimine les gaz, vapeurs, brouillards et poussières dangereux à l'endroit même où ils sont émis, avant qu'ils n'atteignent la zone respiratoire de l'opérateur. Un système type se compose d'une hotte ou d'une enceinte autour de la source, de conduits, d'un dispositif d'épuration comme un laveur de gaz (scrubber) si nécessaire, d'un ventilateur et d'une cheminée de rejet. La grandeur de conception essentielle est la vitesse de captage : la vitesse d'air nécessaire au point d'émission pour entraîner les polluants dans la hotte malgré les courants d'air et le mouvement propre de l'émission.
La ventilation générale, ou par dilution, mélange de l'air propre dans toute la pièce pour abaisser la concentration moyenne : un opérateur proche de la source peut donc rester exposé, et de grands débits d'air sont nécessaires. L'aspiration localisée élimine les polluants avant qu'ils ne se dispersent : elle est donc plus efficace pour les substances toxiques et demande beaucoup moins d'air. En salle blanche, l'important flux d'air recirculé est conçu pour maîtriser les particules, pas l'exposition chimique ; les vapeurs chimiques sont prises en charge par des extractions dédiées à chaque équipement et poste chimique.
Les paillasses de chimie humide (wet benches) aspirent l'air par des fentes autour de leurs bains chimiques, les armoires de stockage et de distribution de produits chimiques sont ventilées, et les armoires à gaz contenant des gaz toxiques comme l'arsine et la phosphine sont maintenues en dépression afin que toute fuite soit entraînée vers l'extraction. Les équipements de procédé disposent de raccordements d'extraction pour leurs chambres et leurs zones de chargement. Le meulage et le polissage du GaAs, qui libèrent des poussières contenant de l'arsenic, reposent aussi sur l'aspiration localisée associée à des équipements de protection. Les extractions sont généralement séparées par type, comme acides, bases et solvants, et traitées avant rejet.
Une hotte ne protège que si elle atteint réellement son débit de conception ; les systèmes sont donc inspectés et testés périodiquement, par exemple en mesurant la vitesse de captage ou la vitesse frontale à l'ouverture de la hotte, et de nombreuses réglementations imposent ces contrôles par la loi. La pression d'extraction est surveillée en continu, et les équipements manipulant des produits chimiques dangereux sont souvent asservis pour s'arrêter ou déclencher une alarme en cas de perte d'extraction. Les bonnes pratiques comptent aussi : ne pas obstruer les ouvertures des hottes, maintenir les guillotines à la bonne hauteur et travailler dans la zone de captage.
Un système d'aspiration localisée capte les gaz, vapeurs, brouillards ou poussières dangereux directement à leur source au moyen d'une hotte ou d'une enceinte et les évacue par des conduits, afin que les opérateurs ne les inhalent pas.
La vitesse de captage est la vitesse d'air nécessaire au point d'émission d'un polluant pour l'entraîner dans la hotte d'aspiration. C'est un critère de base pour la conception et l'inspection des systèmes d'aspiration localisée.
La ventilation générale dilue les polluants dans toute une pièce avec de grands débits d'air, tandis que l'aspiration localisée les élimine à la source avant qu'ils ne se dispersent, offrant une meilleure protection avec beaucoup moins d'air.
Consignation (LOTO) Directive RoHS Évaluation des risques FDS (fiche de données de sécurité) Limite inférieure d'explosivité (LIE/LEL) Perfluorocarbure SGH (GHS) Sous-oxygénation (anoxie) Système de traitement des effluents gazeux (abatement)