Ausbeute und Qualitätskontrolle

Welches Verfahren ändert Prozessbedingungen (Temperatur, Zeit, Gasfluss usw.) mehrere gleichzeitig planmäßig und untersucht mit wenigen Versuchen effizient den Einfluss jedes Faktors?

  1. AVersuchsplanung (DOE)
  2. BPareto-Diagramm
  3. CWarum-Warum-Analyse
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: A. Versuchsplanung (DOE)

Bei der Versuchsplanung werden z. B. mit orthogonalen Feldern die Kombinationen der Stufen mehrerer Faktoren planmäßig gewählt, und mit wenigen Versuchen werden Wirkung jedes Faktors und Wechselwirkungen statistisch bewertet. Bei sieben Faktoren mit je zwei Stufen gibt es z. B. 128 Kombinationen, mit dem orthogonalen Feld L8 lassen sich die Haupteffekte in 8 Versuchen bewerten. Es erfasst auch Wechselwirkungen, die beim Verändern jeweils einer Bedingung übersehen würden.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu Ausbeute und Qualitätskontrolle

  1. Wie heißt der Mechanismus, der Sensordaten von Fertigungsanlagen (Temperatur, Druck, Leistung usw.) während der Bearbeitung überwacht, vom Üblichen abweichende Zustände erkennt und Störungen früh meldet?
  2. Welche Kennzahl bewertet die Produktivität einer Fertigungsanlage durch Multiplikation von Betriebszeitanteil, Leistung (Geschwindigkeit) und Gutteilquote?
  3. Wie heißt in Halbleiterfabriken die Zeit von der Einschleusung eines Wafers bis zu seiner Fertigstellung?
  4. Welche Regelkarte stellt Mittelwert und Spannweite (Maximum − Minimum) der Stichproben jeweils im Zeitverlauf dar, um Änderungen des Prozessmittelwerts und der Streuung gleichzeitig zu überwachen?
  5. Welches System verwaltet in der Fabrik, welches Los sich in welchem Prozess und welcher Anlage befindet und unter welchen Bedingungen es bearbeitet wurde, und steuert und protokolliert den Produktionsfluss?