SRAM und Flash-Speicher

Welcher Wert kommt der Lagenzahl heutiger 3D-NANDs am nächsten?

  1. Aeinige wenige Lagen
  2. Beinige zehn Lagen
  3. C200 Lagen oder mehr
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Antwort: C. 200 Lagen oder mehr

3D-NAND begann etwa 2013 mit 24 Lagen und hat die Lagenzahl mit jeder Generation erhöht. In letzter Zeit werden Produkte mit über 200 Lagen in Serie gefertigt, und auch solche mit 300 Lagen und mehr sind erschienen. Je mehr Lagen, desto schwieriger wird es, Löcher von einigen µm Tiefe oben und unten mit gleichem Durchmesser zu ätzen; daher wird das Verfahren angewendet, den Stapel in zwei oder mehr Teilen zu ätzen und die Löcher zu verbinden (String Stacking). Es wird auch daran gearbeitet, die Gesamthöhe durch dünnere Lagen zu begrenzen.

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