Zuverlässigkeit

Welcher Ausfall kann auftreten, wenn bei der Elektromigration an der Leitung ein Hillock (Erhebung) entsteht?

  1. ANur eine Leitungsunterbrechung
  2. BEin Kurzschluss mit der Nachbarleitung
  3. CEin Anstieg der Schwellenspannung
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Antwort: B. Ein Kurzschluss mit der Nachbarleitung

Bei der Elektromigration entstehen auf der stromaufwärtigen Seite des Elektronenflusses durch Atomverlust Voids, die zu Unterbrechungen führen, und auf der stromabwärtigen Seite sammeln sich Atome zu Hillocks, die den Isolierfilm durchdrücken und mit Nachbar- oder darüber- und darunterliegenden Leitungen in Kontakt kommen und einen Kurzschluss verursachen können. Der Ausfall ist also nicht nur eine Unterbrechung. Ein Anstieg der Schwellenspannung entsteht durch Transistordegradation (z. B. BTI) und ist kein Leitungsphänomen.

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