Halbleiterphysik

Welcher Wert kommt der Gitterkonstante von Siliziumkristall am nächsten?

  1. Aetwa 0,543 nm
  2. Betwa 0,054 nm
  3. Cetwa 5,43 nm
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Antwort: A. etwa 0,543 nm

Silizium hat die Diamantstruktur, und die Kantenlänge der kubischen Einheitszelle (Gitterkonstante) beträgt etwa 0,543 nm (5,43 Å). Die Einheitszelle enthält 8 Atome, und der Abstand nächster Nachbaratome beträgt etwa 0,235 nm. Ge hat etwa 0,566 nm und ist damit um etwa 4 % größer; wird SiGe auf Silizium aufgewachsen, entsteht durch die Gitterfehlanpassung Druckverspannung. Da diese Verspannung die Löcherbeweglichkeit erhöht, wird sie für Source/Drain und Kanal von pMOS genutzt.

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