環境安全

ウエハの乾燥や洗浄に使われるイソプロピルアルコール(IPA)の取り扱いで、特に注意すべき性質はどれか。

  1. A水に触れると爆発する
  2. B引火点が低く、常温でも火花などで引火するおそれがある
  3. C強い放射線を出す
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正解：B. 引火点が低く、常温でも火花などで引火するおそれがある

IPAの引火点は約12 ℃で、常温でも可燃性の蒸気が発生し、火花や静電気の放電などで引火するおそれがあります。そのため換気を十分に行い、火気を遠ざけ、容器や装置を接地するなどして扱います。保管量も法令で管理されます。

  • A. IPAは水とよく混ざり、水に触れて爆発することはありません。
  • B. 正しい。引火しやすい液体として扱います。
  • C. IPAは放射性物質ではありません。
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