Wat kan worden beoordeeld door de capaciteit van een pn-junctie in sperrichting te meten terwijl de spanning wordt gevarieerd (C-V-meting)?

Antwoord: C. De onzuiverheidsconcentratie aan de lage-concentratiezijde en de verdeling daarvan in de diepte

Bij grotere sperspanning wordt de uitputtingslaag breder en neemt de capaciteit af; de wijze van verandering wordt bepaald door de onzuiverheidsconcentratie aan de rand van de uitputtingslaag. Uit de helling van 1/C² tegen de spanning volgt de concentratie en uit de breedte van de uitputtingslaag W = εA/C de diepte, zodat het diepteprofiel van de onzuiverheidsconcentratie aan de lage-concentratiezijde niet-destructief kan worden bepaald. Het wordt gebruikt voor de concentratiebewaking van epitaxiale lagen, en met een kwikprobe kan zonder vorming van elektroden worden gemeten.