PN-Übergang und Diode

Was lässt sich durch Messen der Kapazität eines PN-Übergangs bei Sperrvorspannung bei veränderter Spannung (C-V-Messung) bewerten?

  1. ADie Farbe des emittierten Lichts
  2. BNur die Beweglichkeit der Ladungsträger
  3. CDie Dotierung der niedrig dotierten Seite und ihre Tiefenverteilung
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Antwort: C. Die Dotierung der niedrig dotierten Seite und ihre Tiefenverteilung

Bei größerer Sperrvorspannung dehnt sich die Raumladungszone aus und die Kapazität sinkt; die Art der Änderung wird von der Dotierung am Rand der Raumladungszone bestimmt. Aus der Steigung von 1/C² über der Spannung ergibt sich die Konzentration und aus der Raumladungsweite W = εA/C die Tiefe, sodass sich das Tiefenprofil der Dotierung der niedrig dotierten Seite zerstörungsfrei bestimmen lässt. Das Verfahren dient u. a. der Konzentrationskontrolle von Epitaxieschichten und lässt sich mit einer Quecksilbersonde ohne Elektrodenbildung durchführen.

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