PN 접합의 역바이어스 시 용량을 전압을 바꿔 가며 측정하는(C-V 측정) 것으로 평가할 수 있는 것은?

정답: C. 저농도 쪽의 불순물 농도와 그 깊이 방향 분포

역바이어스를 크게 하면 공핍층이 넓어져 용량이 작아지고, 그 변화 방식은 공핍층 끝의 불순물 농도로 정해집니다. 1/C²을 전압에 대해 그래프로 그렸을 때의 기울기로부터 농도를, 공핍층 폭 W = εA/C로부터 깊이를 알 수 있으므로, 저농도 쪽 불순물 농도의 깊이 분포를 비파괴로 구할 수 있습니다. 에피택셜층의 농도 관리 등에 사용되며, 수은 프로브를 사용하면 전극을 형성하지 않고도 측정할 수 있습니다.