수율과 품질 관리
테스트에서는 규격 내이지만 같은 로트의 분포에서 크게 벗어난 값을 보이는 칩을 불량으로 제외하는 기법은 무엇입니까?
- AATPG
- BPAT(부품 평균 테스트)
- CAPC
정답과 해설 보기
정답: B. PAT(부품 평균 테스트)
PAT(Part Average Testing)는 로트나 웨이퍼별 측정값의 분포를 구하고, 규격 내이더라도 평균에서 예를 들어 ±6σ를 넘는 이상치 칩을 제외하는 기법입니다. 이상치 칩은 잠재 결함을 가지고 있어 장래에 고장 날 가능성이 높기 때문입니다. 차량용 반도체의 품질 향상에 사용되며 AEC(차량용 전자부품 협의회) 가이드라인에도 규정되어 있습니다. ATPG는 패턴 생성, APC는 공정 제어입니다.