반도체 물리
실리콘의 불순물 농도를 높이면 캐리어의 이동도는 일반적으로 어떻게 되는가?
- A변하지 않는다
- B작아진다
- C커진다
정답과 해설 보기
정답: B. 작아진다
불순물 농도가 높아지면 이온화한 불순물에 의한 쿨롱 산란(이온화 불순물 산란)이 늘어나 이동도가 내려갑니다. 실리콘의 전자에서는 10¹⁵ cm⁻³에서 약 1350 cm²/V·s이던 것이 10¹⁹ cm⁻³에서는 약 100 cm²/V·s 정도까지 내려갑니다. 그래서 저항률은 농도의 증가만큼은 내려가지 않는 계산이 됩니다. MOSFET의 채널을 저도핑으로 유지하고 싶은 이유 중 하나이며, FinFET이나 GAA는 저도핑 채널을 사용할 수 있습니다.
- A. 불순물 농도는 이동도에 큰 영향을 줍니다.
- B. 올바릅니다. 이온화 불순물 산란이 늘어나 이동도는 내려갑니다.
- C. 불순물이 늘어나면 산란이 늘어나므로 이동도는 커지지 않습니다.