Welcher Hinweis zur Bewertung ist richtig, weil sich bei der BTI-Degradation die Änderung der Schwellenspannung nach Wegnahme der Belastung teilweise zurückbildet?

Antwort: B. Das Ergebnis hängt von der Zeit zwischen Ende der Belastung und Messung ab, daher muss schnell gemessen oder auf gleiche Bedingungen geachtet werden

Bei BTI wird nach Ende der Belastung ein Teil der eingefangenen Ladung wieder freigesetzt, und die Änderung der Schwellenspannung erholt sich im Bereich von Mikrosekunden bis Sekunden allmählich. Ist die Zeit zwischen Ende der Belastung und Messung lang, wird die Degradation daher zu klein eingeschätzt. Bewertet wird mit Verfahren, die ohne Unterbrechung der Belastung messen, oder mit schnellen Messverfahren im Mikrosekundenbereich, auch unter Berücksichtigung der Erholung durch wiederholtes Ein- und Ausschalten realer Schaltungen. Die Erholung ist nur teilweise, die Degradation bleibt.