Was ist der Hauptzweck der Technik, einen Teil der Isolierschicht zwischen Leitungen zu einem Hohlraum (Air Gap) zu machen?

Antwort: B. Die Kapazität zwischen Leitungen zu senken (die relative Permittivität von Luft beträgt nahezu 1)

Die relative Permittivität von Luft (Vakuum) beträgt nahezu 1 und ist niedriger als die jedes Isoliermaterials; werden die Räume zwischen den Leitungen zu Hohlräumen, lässt sich die Kapazität zwischen den Leitungen um etwa 20 bis 30 % senken. Es gibt Verfahren, bei denen nach der Leitungsbildung die Isolierschicht dazwischen entfernt und von oben verschlossen wird, und solche, bei denen bei der Abscheidung gezielt Hohlräume verbleiben. Wegen mechanischer Festigkeit, schlechterer Wärmeabfuhr und des Problems, dass Vias der oberen Lage in die Hohlräume geraten könnten, wird es nur in dichten Lagen eingesetzt, in denen die Kapazität besonders gesenkt werden soll.