Was ist der Hauptgrund, weshalb die Emission von PFCs (perfluorierten Kohlenwasserstoffen), die beim Ätzen und der Anlagenreinigung verwendet werden, als Umweltproblem gilt?

Antwort: C. Weil sie Treibhausgase mit hohem Treibhauspotenzial und langer atmosphärischer Lebensdauer sind

PFCs wie CF4 und C2F6 haben ein Treibhauspotenzial, das mehrere tausend Mal so hoch ist wie das von CO2, und CF4 ist mit einer atmosphärischen Lebensdauer von etwa 50.000 Jahren ein extrem langlebiges Treibhausgas. Einmal freigesetzt, verschwinden sie auf menschlichen Zeitskalen nicht; die Halbleiterindustrie bemüht sich daher um Emissionsminderung durch Zersetzung in Abgasreinigungsanlagen, den Wechsel zu Ersatzgasen mit niedrigem Treibhauspotenzial und die Optimierung der Einsatzmengen. Sie sind keine Hauptursache von Gewässerverschmutzung oder saurem Regen.